Длабоко нурнете во технологијата на полисиликон со ниски температури: јадро на екранот TFT и индустриски апликации

Преглед на технологијата на транзистор со тенок филм

Во модерните панели за прикажување со активна матрица, транзисторот со тенок филм (TFT) служи како основна компонента за возење. Активниот регион на каналот е првенствено направен од силиконски материјал. Врз основа на разликите во процесот и перформансите, TFT главно се класифицирани во три вида: аморфен силициум (a-Si), полисилициум со ниска температура (LTPS) и полисилициум со висока температура (HTPS). 

Меѓу нив, технологијата на полисиликон со ниска температура (LTPS) стана главен избор за 6-та генерација и под производните линии поради одличната мобилност на електрони, малата потрошувачка на енергија, високата резолуција и релативно едноставниот производствен процес.

Длабинска анализа на дизајнот на структурата LTPS-TFT

Како што е прикажано на слика 1, типична LDD (лесно допирана одвод) структура од типот LTPS-TFT се состои првенствено од подлога и тампон слој. Подлогата обично е направена од оптичко стакло без алкали, на кое се депонира тампон слој од силициум диоксид (SiO2) или двослојна структура SiO2/SiNx. 

Клучната функција на овој тампон слој е да спречи метални јони од стаклото да се дифузираат во полисиликонскиот активен регион, со што ќе го потисне формирањето на дефекти и струјата на истекување.

Во споредба со еднослојниот SiO2, SiNx (силициум нитрид) има повисока диелектрична константа (SiO2 ~ 4, SiNx 6-8), нудејќи подобра отпорност на распаѓање, перформанси на бариери и способност за поправка на оксидација. Силициум нитрид подготвен од PE-CVD може да има содржина на кислород до приближно 10²² cm-3, обезбедувајќи стабилност на уредот.

За процесот на поликристализација, аморфниот силициумски слој мора да се претвори во полисилициумски слој. Вообичаените методи вклучуваат кристализација во цврста фаза, странична кристализација индуцирана од метал (на пр., индуцирана од никел) и ласерска кристализација.

 Меѓу нив, ласерската кристализација постигнува кристализација преку моментално топење на висока температура, нудејќи висока ефикасност и униформни зрна. Сепак, треба да се забележи дека ако се користи двослојна тампон структура SiO2/SiNx, феноменот на експлозија на водород може да се појави за време на ласерската кристализација, што ќе доведе до дефекти. 

Решенијата вклучуваат изведување на печење со дехидрогенизација пред ласерска кристализација или користење на еднослојна структура SiO2 со екстремно ниска содржина на водород.

LDD технологијата вклучува имплантација на ниски дози на јони во регионите на изворот/одводот во внатрешноста на портата, прецизно контролирајќи ја концентрацијата на допинг за да се формира концентрациска тампон зона со висока сериска отпорност. Ова ефикасно го намалува локалниот градиент на електричното поле, ја потиснува струјата на истекување и го избегнува ефектот на топол носач.

Индустриски апликации и професионални решенија за приказ

Како што технологијата на екранот еволуира кон повисока резолуција, помала потрошувачка на енергија и потенки фактори на форма, LTPS-TFT стана критична технолошка патека за панели за прикажување од средна до висока класа. Во практичната имплементација на производот, целокупната способност за дизајн и производство на модулите за прикажување се подеднакво важни.

Во оваа област, CNK (кратенка за CNAOKE Electronics) е специјализирана технолошка компанија која се занимава со развој, производство и продажба на уреди за прикажување и интерактивни производи HMI (интерфејс човек-машина), препознаена како претпријатие „Специјализирано, рафинирано, карактеристично и иновативно“.

Нејзините главни производи вклучуваат монохроматски LCD екрани и монохроматски модули, модули за TFT дисплеј од 0,96‑ до 15,6 инчи, OLED модули и интерактивни модули HMI, широко користени во индустриска контрола, паметен дом, медицинска опрема, автомобилски дисплеи и многу други полиња.

Без разлика дали за основните потреби за прикажување со користење на LCD екрани или решенија со високи перформанси што ги бараат производителите на LCD екрани, CNK обезбедува приспособени, економични решенија. Искористувајќи ги напредните производни линии и строгиот систем за контрола на квалитетот, CNK продолжува да испорачува стабилни, основни компоненти за екранот на своите клиенти.

Заклучок

Од основната технологија LTPS TFT до интеграција и оптимизација на целосни модули за прикажување, секој напредок во индустријата за прикажување се потпира на синергијата на материјали, процеси и можности за дизајн. CNK ќе продолжи да го продлабочува своето присуство на полето на интеракцијата на екранот и човек-машина, помагајќи им на повеќе крајни производи да постигнат појасни и попаметни искуства за прикажување.

За CNK

Основана во Шенжен во 2010 година, CNK Electronics (накратко CNK) ја прошири водечката светска фабрика во Лонгјан, Фуџијан во 2019 година. Тоа е национално специјализирано и иновативно претпријатие „мал гигант“ кое е специјализирано за дизајн, развој, производство и продажба на производи за прикажување. CNK им обезбедува на клиентите целосен опсег на економични мали и средни модули за прикажување, решенија и услуги со одличен квалитет ширум светот. Ориентиран на технологија и висок квалитет, CNK одржува одржлив развој, работи на тоа да им понуди на клиентите подобри и стабилни услуги.